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Heteroepitaxie |
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epitaktisches (Epitaxie) Aufwachsen einer Substanz auf einem Substrat aus einer chemisch anderen Verbindung mit ähnlicher Kristallstruktur wie die aufwachsende Verbindung. Der Beginn des Prozesses wird heterogene Keimbildung genannt. Die Heteroepitaxie wird immer dann verwendet, wenn keine qualitativ hochwertigen Kristalle der Substanz verfügbar sind und damit die Homoepitaxie ausscheidet, oder wenn die Unterlage bessere mechanische oder Wärmeleitungseigenschaften hat als die aufwachsende Verbindung und von dieser nur eine Schicht für die gewünschten Eigenschaften notwendig ist. Dies ist v.a. bei der Mikroelektronik oder bei optoelektronischen Bauteilen der Fall. |
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