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Aufwachsen eines Kristalls auf einer kristallinen Unterlage, bei dem eine eindeutige Beziehung zwischen der Kristallstruktur der Unterlage und der des aufwachsenden Materials besteht. In diesem Sinne ist das Weiterwachsen eines Kristalls als Homoepitaxie zu verstehen, während das Aufwachsen auf einer chemisch verschiedenen Unterlage Heteroepitaxie genannt wird. Oft wird die Epitaxie verwendet, um auf Substraten hoher kristalliner Perfektion epitaktische Schichten von elektrisch, optisch oder magnetisch aktivem Material aufzubringen, wenn davon perfekte Einkristalle anderweitig schwer zu erhalten sind. Dazu gibt es eine ganze Reihe von spezifischen Verfahren, wie z.B. LPE, MBE, VPE, MOMBE. |
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