MOCVD

Metal Organic Chemical Vapour Deposition, metallorganische Gasphasenabscheidung, Spezialverfahren der chemischen Gasphasenabscheidung, bei dem als gasförmige Ausgangsmaterialien metallorganische Verbindungen gewählt werden. Diese haben den Vorteil, dass sie bei geringeren Temperaturen zerfallen und die einzelnen Bausteine für die zu züchtenden Kristalle liefern. Damit lassen sich deutlich gesenkte Wachstumstemperaturen erreichen, wodurch die Bildung von Strukturdefekten verringert wird.

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