alle Störungen, die eine Abweichung von der idealen Gitterstruktur eines Kristalls verursachen. Dazu gehören die Kristalloberfläche, Korngrenzen, planare Defekte, lineare Defekte (Versetzungen) und Punktdefekte. An Oberflächen lassen sich die linearen Defekte wie Versetzungen durch Ätzen sichtbar machen. Die Defekte mit den geringsten Bildungsenergien, die Punktdefekte, lassen sich beim Züchtungsprozess nicht vermeiden. Sie können nur durch niedrige Herstellungstemperaturen, wie sie z.B. beim MOCVD-Verfahren (MOCVD) verwendet werden, möglichst gering gehalten werden.