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Liquid Phase Epitaxy, Verfahren der Züchtung aus Hochtemperaturlösungen, das in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von qualitativ hochwertigen Einkristallschichten der Verbindungshalbleiter auf Substraten Verwendung findet. Entweder werden die Substrate als rotierende Scheiben von oben in die gesättigte Lösung gebracht (z.B. bei magnetischen Granatschichten), oder Schiebetiegel aus Graphit werden mit der gesättigten Lösung über die Substrate geschoben (z.B. bei ternären III-V-Verbindungen). Der diffusionskontrollierte Wachstumsprozess erlaubt eine gute Kontrolle der Schichten in Dicke, Reinheit, Perfektion und Stöchiometrie. Epitaxie. |
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