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darunter versteht man das gezielte Auflösen von Kristalloberflächen zum Zwecke der Oberflächenbehandlung und zum Sichtbarmachen von Strukturdefekten. Dabei ist das Entwickeln der entsprechenden Ätzlösungen eine empirische Angelegenheit. Ätzen, welche die Oberfläche sehr gleichmässig abtragen, werden zum chemischen Polieren genutzt. Andererseits werden Strukturätzen verwendet, um durch bevorzugtes Herauslösen von Kristallbausteinen um Versetzungen herum die Strukturdefekte mittels Ätzgruben sichtbar zu machen. |
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