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MOMBE

  
     
  Metal Organic Molecular Beam Epitaxy, metallorganische Molekularstrahlenepitaxie, Besonderheit der MBE, bei der statt der Verdampfung aus Effusionszellen metallorganische Verbindungen von aussen in das UHV-System eingelassen werden. Die Zersetzung der metallorganischen Verbindungen an der Substratoberfläche kann durch Verwendung von Laserlicht oder elektrischen Plasmaentladungen unterstützt und gesteuert werden. Damit lassen sich qualitativ hochwertige Schichten erzeugen. Epitaxie.  
 

 

 

  
 
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